Qu'il s'agisse de plaquettes de semi-conducteurs, de substrats, de lentilles optiques ou de céramiques, il est essentiel d'obtenir des surfaces planes, lisses et exemptes de défauts.
Le rodage et le polissage comptent parmi les étapes les plus complexes et les plus sensibles de la fabrication de précision. Qu'il s'agisse de planariser une plaquette de silicium ou de polir des optiques en saphir, votre système de suspension doit assurer un enlèvement de matière régulier et des finitions sans défaut, sans endommager les matériaux fragiles ni compliquer excessivement le nettoyage après le processus.
La moindre instabilité dans un système de boue peut entraîner une augmentation de la défectuosité, une perte de rendement et des temps d'arrêt coûteux.
Intersurface Dynamics fournit des boues à base d'eau, des véhicules et des additifs conçus pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de rodage et de polissage, tout en assurant la stabilité chimique, la compatibilité avec les matériaux et l'efficacité du processus.
IDI propose une gamme de barbotines aqueuses, de véhicules de barbotine et d'additifs pour le polissage abrasif en vrac et fixe. Chacun d'entre eux est optimisé en fonction de l'application pour assurer une suspension stable des particules, un enlèvement efficace des matériaux et une minimisation des défauts sur une large gamme de substrats et de plates-formes d'équipement.
Des solutions optimisées en fonction de l'application pour garantir la compatibilité des matériaux
Des systèmes de qualité robustes qui répondent aux besoins d'un large éventail d'industries exigeantes
Chimie aqueuse pour des processus rentables et une élimination pratique
Développement sur mesure pour répondre aux spécifications exactes du processus
Véhicules de rodage à suspension
- Mélanges de polymères et de tensioactifs visqueux et biodégradables qui suspendent entièrement les abrasifs tels que l'alumine et la silice.
- Conçu pour les substrats semi-conducteurs, les céramiques et l'optique
- Maintien de la suspension et de la dispersion sur de longs intervalles, réduisant la nécessité d'un mélange constant
Nos boues de rodage en suspension, y compris celles de la série série Vector HTSsont des mélanges biodégradables et visqueux de polymères et de tensioactifs conçus pour disperser et suspendre les abrasifs tels que l'oxyde d'aluminium et le dioxyde de silicium lorsqu'ils sont mélangés à de l'eau désionisée. Conçues pour le rodage des substrats semi-conducteurs, ces boues dispersent et mettent en suspension les matériaux abrasifs pendant de longues périodes, avec un changement relativement faible des caractéristiques physiques ou chimiques. Conçues pour être utilisées sur tous les types de plateaux de rodage et d'ensembles d'outils.
Les produits de la série HTS ont des propriétés chimiques et physiques variées, qui se traduisent par des différences de mouillage, de résistance du film et de viscosité. Cela permet d'optimiser la formulation pour n'importe quelle application.
Produits clés :
Série Vector HTS
Série Challenge 550
Challenge 543-HT
Systèmes de polissage des diamants
- Véhicules thixotropes pour la dispersion d'abrasifs diamantés, idéaux pour les matériaux cristallins durs comme le SiC, le saphir et le GaN
- Disponible sous forme de véhicules de base ou de boues prêtes à l'emploi avec de la poudre de diamant.
- Réduction des rayures, amélioration du taux de coupe et surfaces plus planes, tout en simplifiant le nettoyage après le tour.
Les avantages de Vector TXT et CE Diamond comprennent des plaquettes plus plates avec une réduction des dommages, une amélioration du taux de coupe, une réduction des rayures, une réduction de l'utilisation d'abrasifs, une prévention des taches et des résultats plus cohérents. En outre, comme les produits sont solubles dans l'eau, le nettoyage après le rodage est beaucoup plus facile. Les véhicules de rodage sont également compatibles avec tous les autres produits d'Intersurface Dynamics.
Produits clés :
Série Vector TXT
Boues diamantées Vector CE
Boues CMP sur mesure
- Boues entièrement formulées pour la planarisation chimico-mécanique (CMP)
- Conçue pour les dispositifs et les emballages de semi-conducteurs avancés
- Disponible avec des systèmes abrasifs personnalisés, un contrôle du pH et des modificateurs de surface.
Principaux produits :
Boues CMP sur mesure
Domaines d'application :
Nous travaillons en étroite collaboration avec nos clients pour développer des chimies de rodage et de polissage optimisées pour leurs équipements, matériaux et objectifs spécifiques.
Qu'il s'agisse de rendement, d'intégrité de surface ou de compatibilité d'outil, nous pouvons formuler une solution qui soutienne votre processus de bout en bout.
Collaborez avec nos experts pour adapter une solution à votre processus exact
Nous offrons une large gamme de produits chimiques de surface éprouvés, mais nous sommes tout aussi investis dans la collaboration avec nos clients pour développer de nouvelles solutions personnalisées adaptées à de nouveaux types de matériaux, à des défis d'intégration ou à des innovations en matière de processus.
L'IDI peut vous aider à développer des méthodes pour préparer les surfaces des wafers :
- Traitement en aval
- Collage de plaquette à plaquette
- Epitaxie
- Procédés nécessitant une rugosité de surface très faible
Projets auxquels l'IDI peut apporter son aide :
- Besoins non satisfaits en matière de technologies consommables
- POR arrêt de la chimie/obsolescence
- Défis en matière d'importation
- Consommables conformes aux restrictions en matière de marchés publics de la défense
Applications courantes
FABRIQUÉ AUX ÉTATS-UNIS
Plus qu'un fournisseur, nous sommes une extension de confiance de votre équipe.
IDI apporte plus de 40 ans d'expérience pratique dans la résolution de problèmes de procédés réels. Nos produits sont fabriqués aux États-Unis, avec des délais de livraison rapides, une assistance réactive et une approche collaborative qui garantit que la chimie s'adapte à votre procédé, et non l'inverse.
IDI est plus qu'un fournisseur - nous sommes une extension de confiance de votre équipe, dont l'objectif est de vous aider à résoudre les défis et à améliorer les résultats. Nous travaillons en étroite collaboration avec vous pour recommander, affiner ou développer des solutions sur mesure qui optimisent les performances, réduisent les déchets et assurent le bon fonctionnement de vos opérations.
La chimie adaptée à votre procédé
Nous sommes spécialisés dans les solutions spécifiques aux applications, adaptées à vos matériaux, processus et objectifs de performance. Que vous ayez besoin d'aide pour sélectionner le bon produit ou pour développer une formulation personnalisée, nos experts sont là pour vous aider.
L'usine de fabrication d'Intersurface Dynamic à Bethel, CT, est certifiée ISO-9001:2015. Cet engagement en faveur de la qualité, associé à nos techniques de fabrication avancées, a permis à nos clients de bénéficier d'un service fiable et rapide.
Des solutions d'experts, conçues pour vous
Solutions spécialisées pour la fabrication de semi-conducteurs avancés
Amtech Semiconductor Fabrication Solutions est une division d'Amtech Systems, Inc, fournisseur mondial d'équipements et de matériaux pour l'industrie des semi-conducteurs. Ce segment fournit des biens d'équipement et des consommables utilisés tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs - y compris l'emballage avancé et la fabrication électronique - couvrant tous les aspects, du traitement des substrats à l'assemblage final.
Les marques Intersurface Dynamics, Entrepix et PR Hoffman d'Amtech Semiconductor Fabrication Solutions se distinguent par leur engagement à fournir des solutions personnalisées - quels que soient les besoins du client, elles le font. Au-delà de la personnalisation, leur avantage concurrentiel réside dans leur réactivité, qui met l'accent sur des délais d'exécution rapides pour répondre aux demandes des clients. En outre, chaque marque opère en se concentrant sur un processus spécifique, en rassemblant des spécialistes dans des domaines étroitement liés. Cette structure garantit que les clients bénéficient d'une véritable expertise adaptée à leurs défis de fabrication spécifiques.
Chez Amtech Semiconductor Fabrication Solutions, nous renforçons votre processus de fabrication grâce à la collaboration d'experts. Nos filiales spécialisées - Intersurface Dynamics, PR Hoffman et Entrepix - apportent une expertise inégalée en matière de produits chimiques spécifiques aux applications, de gabarits de polissage et de rodage et de mises à niveau liées au CMP. En tant qu'entreprise souple et réactive, nous excellons dans la formation de partenariats rapides, ce qui nous permet de personnaliser des solutions qui répondent à vos défis uniques. Ensemble, nous améliorons chaque étape critique de vos processus de fabrication de semi-conducteurs, de semi-conducteurs composés et de substrats, en favorisant l'innovation et la précision.
Processus de fabrication des substrats semi-conducteurs
Substrat d'entrée
- Si (silicium)
- SiC (carbure de silicium)
- GaN (nitrure de gallium)
- GaAs (arséniure de gallium)
- InP (phosphure d'indium)
- Verre
- Saphir
Sortie
Plaquette finie ou substrat
Produits vedettes
La chimie adaptée à votre procédé
Les solutions sur mesure commencent par une conversation. Que vous ayez besoin d'aide pour sélectionner un produit ou développer une formulation personnalisée, nos experts sont là pour vous aider.