Dosiahnutie rovných, hladkých a bezdefektných povrchov je veľmi dôležité - od polovodičových doštičiek a substrátov až po optické šošovky a keramiku.
Lapovanie a leštenie patria k najzložitejším a najcitlivejším procesným krokom v presnej výrobe. Či už planarizujete kremíkovú doštičku alebo leštíte zafírovú optiku, váš kalový systém musí zabezpečiť konzistentné odstraňovanie materiálu a povrchovú úpravu bez chýb - bez poškodenia krehkých materiálov alebo nadmerného komplikovaného čistenia po procese.
Aj malá nestabilita v kalovom systéme môže mať za následok zvýšenú chybovosť, stratu výnosov a nákladné prestoje.
Spoločnosť Intersurface Dynamics dodáva suspenzie na báze vody, prostriedky a prísady navrhnuté tak, aby spĺňali najnáročnejšie požiadavky na lapovanie a leštenie - a zároveň zabezpečovali chemickú stabilitu, kompatibilitu materiálov a efektívnosť procesov.
IDI ponúka portfólio vodných suspenzií, suspenzných vozidiel a aditív na leštenie sypkých aj pevných abrazív. Každá z nich je optimalizovaná podľa aplikácie tak, aby podporovala stabilnú suspenziu častíc, účinné odstraňovanie materiálu a minimalizáciu defektov na širokom spektre substrátov a platforiem zariadení.
Riešenia optimalizované podľa aplikácie na zabezpečenie kompatibility materiálov
Robustné systémy kvality, ktoré spĺňajú potreby širokej škály náročných priemyselných odvetví
Vodné chemikálie pre nákladovo efektívne procesy a pohodlnú likvidáciu
Vývoj na mieru podľa presných špecifikácií procesu
Vozidlá s odpružením
- Viskózne, biologicky odbúrateľné zmesi polymérov a povrchovo aktívnych látok, ktoré úplne suspendujú abrazíva, ako je oxid hlinitý a oxid kremičitý
- Navrhnuté pre polovodičové substráty, keramiku a optiku
- Udržiavanie suspenzie a disperzie počas dlhých intervalov, čo znižuje potrebu neustáleho miešania
Naše suspenzné lapovacie suspenzie, vrátane tých v Vector HTS Series, sú biologicky odbúrateľné, viskózne zmesi polymérov a povrchovo aktívnych látok, ktoré sú po zmiešaní s deionizovanou vodou určené na dispergáciu a suspendovanie abrazív, ako je oxid hlinitý a oxid kremičitý. Tieto suspenzie, navrhnuté na lapovanie polovodičových substrátov, plne dispergujú a suspendujú abrazívny materiál počas dlhšieho obdobia s relatívne malou zmenou fyzikálnych alebo chemických vlastností. Určené na použitie na všetkých typoch lapovacích dosiek a súprav nástrojov.
Výrobky radu HTS majú rôzne chemické a fyzikálne vlastnosti, čo vedie k rozdielom v zmáčaní, pevnosti filmu a viskozite. To umožňuje optimalizovať zloženie pre akúkoľvek aplikáciu.
Kľúčové produkty:
Séria Vector HTS
Séria Challenge 550
Challenge 543-HT
Diamantové leštiace systémy
- Tixotropné prostriedky na rozptýlenie diamantových brúsnych materiálov, ideálne pre tvrdé kryštalické materiály ako SiC, zafír a GaN
- K dispozícii ako základné vozidlá alebo suspenzie pripravené na použitie s diamantovým práškom
- Znižuje poškriabanie, zlepšuje rýchlosť rezu a sploštenie povrchu - a zároveň zjednodušuje čistenie po ukončení kola
Výhody Vector TXT a CE Diamond patria plochejšie plátky s menším poškodením, zvýšenie rýchlosti rezania, zníženie poškriabania, zníženie spotreby abrazíva, prevencia škvŕn a konzistentnejšie výsledky. Okrem toho, keďže sú tieto produkty rozpustné vo vode, čistenie po aplikácii je oveľa jednoduchšie. Lapovacie prostriedky sú tiež kompatibilné so všetkými ostatnými produktmi Intersurface Dynamics.
Kľúčové produkty:
Séria Vector TXT
Diamantové suspenzie Vector CE
Vlastné suspenzie CMP
- Plne formulované suspenzie pre chemicko-mechanickú planarizáciu (CMP)
- Prispôsobené pre pokročilé polovodičové zariadenia a obaly
- K dispozícii sú vlastné abrazívne systémy, regulácia pH a modifikátory povrchu
Kľúčové produkty:
Vlastné CMP suspenzie
Oblasti použitia:
Úzko spolupracujeme so zákazníkmi na spoločnom vývoji lapovacích a leštiacich chemikálií optimalizovaných pre ich špecifické zariadenia, materiály a ciele.
Či už riešite výťažnosť, integritu povrchu alebo kompatibilitu s nástrojmi, môžeme navrhnúť riešenie, ktoré podporí váš proces od začiatku do konca.
Spolupracujte s našimi odborníkmi na prispôsobení riešenia presne pre váš proces
Ponúkame širokú škálu osvedčených produktov povrchovej chémie, ale rovnako investujeme do spolupráce so zákazníkmi pri vývoji nových, na mieru šitých riešení prispôsobených novým typom materiálov, integračným výzvam alebo inováciám procesov.
IDI môže pomôcť s vývojom metód na prípravu povrchov doštičiek na:
- Následné spracovanie
- Lepenie doštičky na doštičku
- Epitaxia
- Procesy vyžadujúce veľmi nízku drsnosť povrchu
Projekty, s ktorými môže IDI pomôcť:
- Neuspokojené potreby spotrebných technológií
- Prerušenie/zánik chémie POR
- Výzvy pri dovoze
- Spotrebný materiál v súlade s obmedzeniami obstarávania v oblasti obrany
Bežné aplikácie
VYROBENÉ V USA
Viac ako dodávateľ - sme dôveryhodnou súčasťou vášho tímu
IDI prináša viac ako 40 rokov praktických skúseností s riešením reálnych výziev v oblasti procesov. Naše produkty sa vyrábajú v USA, s rýchlymi dodacími lehotami, pohotovou podporou a prístupom založeným na spolupráci, ktorý zaručuje, že chémia sa prispôsobí vášmu procesu - nie naopak.
IDI je viac ako dodávateľ - sme dôveryhodným rozšírením vášho tímu, ktorý sa zameriava na pomoc pri riešení problémov a zlepšovaní výsledkov. Úzko s vami spolupracujeme na odporúčaní, zdokonaľovaní alebo vývoji riešení na mieru, ktoré optimalizujú výkon, znižujú plytvanie a udržiavajú plynulý chod vašich prevádzok.
Získajte správnu chémiu pre svoj proces
Špecializujeme sa na riešenia špecifické pre danú aplikáciu - prispôsobené vašim materiálom, procesom a výkonnostným cieľom. Naši odborníci vám pomôžu, či už potrebujete pomoc pri výbere správneho produktu alebo pri vývoji vlastnej receptúry.
Výrobný závod spoločnosti Intersurface Dynamic v Betheli, CT, je registrovaný podľa normy ISO-9001:2015. Tento záväzok ku kvalite v kombinácii s našimi pokročilými výrobnými technikami priniesol našim zákazníkom spoľahlivé a včasné služby.
Odborné riešenia navrhnuté pre vás
Špecializované riešenia pre pokročilú výrobu polovodičov
Amtech Semiconductor Fabrication Solutions je divízia spoločnosti Amtech Systems, Inc., globálneho dodávateľa zariadení a materiálov pre polovodičový priemysel. Tento segment dodáva investičné zariadenia a spotrebný materiál, ktorý sa používa v celom procese výroby polovodičov - vrátane pokročilých obalov a výroby elektroniky - a zahŕňa všetko od spracovania substrátu až po konečnú montáž.
Značky Intersurface Dynamics, Entrepix a PR Hoffman spoločnosti Amtech Semiconductor Fabrication Solutions sa vyznačujú svojím záväzkom k zákazníckym riešeniam - čokoľvek zákazník potrebuje, to mu dodajú. Ich konkurenčná výhoda spočíva okrem prispôsobenia sa požiadavkám zákazníka aj v rýchlej reakcii, ktorá kladie dôraz na rýchlu realizáciu. Okrem toho každá značka pôsobí s hlbokým zameraním na konkrétny proces, pričom spája odborníkov v úzko súvisiacich oblastiach. Táto štruktúra zaručuje, že zákazníci profitujú zo skutočných odborných znalostí prispôsobených ich špecifickým výrobným výzvam.
V spoločnosti Amtech Semiconductor Fabrication Solutions posilňujeme váš výrobný proces prostredníctvom odbornej spolupráce. Naše špecializované dcérske spoločnosti - Intersurface Dynamics, PR Hoffman a Entrepix - prinášajú jedinečné odborné znalosti v oblasti chemikálií špecifických pre danú aplikáciu, leštiacich a lapovacích šablón a modernizácií súvisiacich s CMP. Ako pohotová a pohotovo reagujúca spoločnosť vynikáme v rýchlom vytváraní partnerstiev, čo nám umožňuje prispôsobiť riešenia, ktoré riešia vaše jedinečné výzvy. Spoločne vylepšujeme každý kritický krok vašich procesov výroby polovodičov, polovodičových zlúčenín a substrátov, čím podporujeme inovácie a presnosť.
Proces výroby polovodičového substrátu
Vstupný substrát
- Si (kremík)
- SiC (karbid kremíka)
- GaN (nitrid gália)
- GaAs (arzenid gália)
- InP (fosfid india)
- Sklo
- Zafír
Výstup
Hotová oblátka alebo substrát
Odporúčané produkty
Získajte správnu chémiu pre svoj proces
Riešenia na mieru sa začínajú rozhovorom. Či už potrebujete pomoc s výberom produktu alebo s vývojom vlastného zloženia, naši odborníci sú tu, aby vám pomohli.