Série VECTOR HTS

Additifs pour boues de rodage/polissage pour matériaux semi-conducteurs

HTS-1.3 EU | HTS-1.4 EU | HTS-3

Les produits de la série Vector HTS sont des mélanges biodégradables et visqueux de polymères et de tensioactifs formulés pour être utilisés avec de l'oxyde d'aluminium (de type PWA ou FO) et de l'eau désionisée pour former une suspension de rodage.

Conçus principalement pour le rodage des plaquettes de silicium, les produits de la série Vector HTS dispersent et suspendent entièrement les matériaux abrasifs pendant de longues périodes, avec une modification relativement faible des caractéristiques physiques ou chimiques. Conçus pour être utilisés sur tous les types de plaques de rodage, ces produits sont particulièrement performants sur les plaques dentelées ou rainurées. Les produits de la série HTS diffèrent chimiquement et physiquement, ce qui se traduit par des différences de mouillage, de résistance du film et de viscosité. Les produits de la série HTS doivent être spécifiés par un ingénieur commercial formé par Intersurface Dynamics. Parmi les variables qui influencent le choix d'un produit de la série HTS, on peut citer : le type de plaques de rodage, le type de système de pompage, la marque de la machine, la pression de fonctionnement et le type d'abrasif. Le choix des produits de la série HTS de Vector permet à l'utilisateur de disposer de la chimie appropriée pour obtenir des résultats optimaux dans le cadre d'un processus de rodage.

Directions

Les produits de la série HTS de VECTOR doivent être mélangés à de l'eau déminéralisée et à de l'abrasif selon la formule suivante : 77-82% d'eau, 15-18% d'abrasif, 3-5% de produits de la série HTS.

  • Utiliser un agitateur muni d'une hélice de type marin et d'un moteur capable de tourner à 1750 tours par minute.
  • Utiliser une pompe de distribution à faible cisaillement pour alimenter la boue mélangée sur le tour.
  • Disperser l'abrasif avec de l'eau DI entre 500 et 1500 rpm pendant 10 minutes.
  • Ajouter le produit de la série HTS.
    Mélanger pendant environ 5 à 10 minutes.
  • Éviter d'aspirer de l'air dans la boue pendant le mélange.
  • Un petit tourbillon doit se former à la surface de la boue lorsque le produit est mélangé.
  • Ensuite, arrêtez le mélangeur ou réglez-le à un maximum de 50 tr/min.

Informations complémentaires

Les produits VECTOR sont disponibles en seaux de 5 gallons et en fûts de 55 gallons, F.O.B. Bethel, Connecticut, et comprennent : des fluides de meulage, des fluides de sciage, des agents de rinçage/lavage et des détergents à ultrasons. Appeler pour la distribution en entrepôt à Séoul, Corée, Tokyo, JAPON et Zurich, SUISSE. Les fiches de données de sécurité sont disponibles sur demande.

Avantages :

Produit des gaufrettes plus plates


Réduit les dommages causés aux plaquettes


Augmentation du taux de réduction


Aide à éliminer le grattage


Facilite le nettoyage après le détachement


Permet d'obtenir des résultats plus cohérents


Aide à prévenir les taches sur les gaufrettes


Réduit l'utilisation d'abrasifs