Požiadavky presnej chémie na polovodičové procesy
Presnosť, čistota a kontrola procesu v každom kroku
So zmenšovaním uzlov a rastom zložitosti zariadení čelia výrobcovia prísnym konštrukčným kritériám na dosiahnutie požadovaného výkonu zariadenia, čo vyvoláva potrebu rovnejších, hladších a mimoriadne čistých povrchov.
Planarizácia vrstiev v moderných zariadeniach a materiáloch zvyšuje dopyt po kreatívnom spotrebnom materiáli na prípravu povrchu - vrátane suspenzií, oxidačných prostriedkov, podložiek a oplachov a čistiacich chemikálií po CMP.
V neskorších fázach spracovania hodnota každej doštičky exponenciálne stúpa, takže presné vykrajovanie a čistenie bez chýb je rozhodujúce pre ochranu výťažku a spoľahlivosť zariadenia.
IDI dodáva portfólio vysoko výkonných chemických látok určených pre kľúčové pracovné postupy výroby polovodičov - od tvarovania substrátu až po konečné čistenie
Spoločnosť Intersurface Dynamics sa zameriava na komplexné problémy spojené s výrobou súčasných najsofistikovanejších integrovaných obvodov, pričom má odborné znalosti v oblasti procesov povrchovej úpravy, planarizácie a balenia. Výsledkom týchto odborných znalostí je vysoko vyvinutá chémia pre chemické mechanické leštenie a čistenie po CMP; brúsenie a lapovanie, dikovanie/singulácia a čistenie po kockách/oplachovanie po pasivácii.
Hoci sa väčšina polovodičových zariadení vyrába na kremíkových doštičkách, v súčasnosti sa pre svoje výhody v aplikáciách, ktoré vyžadujú vysoký výkon alebo vysokú spínaciu frekvenciu, používajú aj zložené polovodičové materiály, ako sú SiC, GaAs, GaN a InP.Bez ohľadu na materiál musia byť polovodičové substráty veľmi ploché a bez defektov.
IDI ponúka leštiace zmesi a čistiace chemikálie pre širokú škálu materiálov súvisiacich s polovodičmi:
- Prísady špecifické pre danú aplikáciu a plne formulované suspenzie CMP
- Kompatibilita s ťažko spracovateľnými materiálmi ako SiC a GaN
- Podpora planarizácie, stenčovania a pokročilých procesov balenia
- Čistiace prostriedky špecifické pre danú aplikáciu a plne formulované čistiace prostriedky PMCP
- Odstránenie kalu, kremíkového prachu a zvyškov procesu
- Zabráňte korózii a kontaminácii povrchu
- Podpora mokrého skladovania, oplachovania podložiek a odstraňovania oblátok
Spolupracujte s našimi odborníkmi na prispôsobení riešenia presne pre váš proces
Ponúkame širokú škálu osvedčených produktov povrchovej chémie, ale rovnako investujeme do spolupráce so zákazníkmi pri vývoji nových, na mieru šitých riešení prispôsobených novým typom materiálov, integračným výzvam alebo inováciám procesov.
IDI môže pomôcť s vývojom metód na prípravu povrchov doštičiek na:
- Následné spracovanie
- Lepenie doštičky na doštičku
- Epitaxia
- Procesy vyžadujúce veľmi nízku drsnosť povrchu
Projekty, s ktorými môže IDI pomôcť:
- Neuspokojené potreby spotrebných technológií
- Prerušenie/zánik chémie POR
- Výzvy pri dovoze
- Spotrebný materiál v súlade s obmedzeniami obstarávania v oblasti obrany
Bežné aplikácie
Výrobný závod spoločnosti Intersurface Dynamic v Betheli, CT, je registrovaný podľa normy ISO-9001:2015. Tento záväzok ku kvalite v kombinácii s našimi pokročilými výrobnými technikami priniesol našim zákazníkom spoľahlivé a včasné služby.
Odborné riešenia navrhnuté pre vás
Špecializované riešenia pre pokročilú výrobu polovodičov
Amtech Semiconductor Fabrication Solutions je divízia spoločnosti Amtech Systems, Inc., globálneho dodávateľa zariadení a materiálov pre polovodičový priemysel. Tento segment dodáva investičné zariadenia a spotrebný materiál, ktorý sa používa v celom procese výroby polovodičov - vrátane pokročilých obalov a výroby elektroniky - a zahŕňa všetko od spracovania substrátu až po konečnú montáž.
Značky Intersurface Dynamics, Entrepix a PR Hoffman spoločnosti Amtech Semiconductor Fabrication Solutions sa vyznačujú svojím záväzkom k zákazníckym riešeniam - čokoľvek zákazník potrebuje, to mu dodajú. Ich konkurenčná výhoda spočíva okrem prispôsobenia sa požiadavkám zákazníka aj v rýchlej reakcii, ktorá kladie dôraz na rýchlu realizáciu. Okrem toho každá značka pôsobí s hlbokým zameraním na konkrétny proces, pričom spája odborníkov v úzko súvisiacich oblastiach. Táto štruktúra zaručuje, že zákazníci profitujú zo skutočných odborných znalostí prispôsobených ich špecifickým výrobným výzvam.
V spoločnosti Amtech Semiconductor Fabrication Solutions posilňujeme váš výrobný proces prostredníctvom odbornej spolupráce. Naše špecializované dcérske spoločnosti - Intersurface Dynamics, PR Hoffman a Entrepix - prinášajú jedinečné odborné znalosti v oblasti chemikálií špecifických pre danú aplikáciu, leštiacich a lapovacích šablón a modernizácií súvisiacich s CMP. Ako pohotová a pohotovo reagujúca spoločnosť vynikáme v rýchlom vytváraní partnerstiev, čo nám umožňuje prispôsobiť riešenia, ktoré riešia vaše jedinečné výzvy. Spoločne vylepšujeme každý kritický krok vašich procesov výroby polovodičov, polovodičových zlúčenín a substrátov, čím podporujeme inovácie a presnosť.
Proces výroby polovodičového substrátu
Vstupný substrát
- Si (kremík)
- SiC (karbid kremíka)
- GaN (nitrid gália)
- GaAs (arzenid gália)
- InP (fosfid india)
- Sklo
- Zafír
Výstup
Hotová oblátka alebo substrát
Získajte správnu chémiu pre svoj proces
Špecializujeme sa na riešenia špecifické pre danú aplikáciu - prispôsobené vašim materiálom, procesom a výkonnostným cieľom. Naši odborníci vám pomôžu, či už potrebujete pomoc pri výbere správneho produktu alebo pri vývoji vlastnej receptúry.
Odporúčané produkty
Plne formulované čistiace chemické prípravky vyrobené podľa vašich špecifikácií
Chladiace/mazacie prostriedky s antikoróznymi prísadami a prísadami na potlačenie elektrostatického výbuchu
Syntetický koolant/mazivo na orezávanie kremíka, rezanie a brúsenie hrán v necirkulačných aplikáciách
Získajte správnu chémiu pre svoj proces
Riešenia na mieru sa začínajú rozhovorom. Či už potrebujete pomoc s výberom produktu alebo s vývojom vlastného zloženia, naši odborníci sú tu, aby vám pomohli.