Vlastné suspenzie CMP
Plne formulované suspenzie vyrobené podľa vašich špecifikácií
Výrobky CMP sú abrazívne suspenzie vyrobené z tesných, veľmi čistých častíc oxidu kovu s veľkosťou 50 - 200 nm. Tieto suspenzie sú optimalizované podľa aplikácie a sú vytvorené tak, aby boli kompatibilné s leštenými materiálmi a aby mali optimálnu rýchlosť a selektivitu odstraňovania. Častice sú rozptýlené v špeciálnej polymérnej matrici so zmáčadlami a prísadami na reguláciu toku pre optimálnu stabilitu a ľahké odstránenie po ukončení procesu CMP.
Máte žiadosť CMP, ktorá si vyžaduje odbornú pomoc?
Náš tím vám môže pomôcť s riešením na mieru, ktoré rieši:
- Nízkoobjemové aplikácie vyžadujúce zákaznícke riešenie
- Zastarávanie v súčasnosti kvalifikovaných výrobkov
- Výzvy pri dovoze alebo požiadavky na získavanie zdrojov z USA
Náš proces
Spoločnosť Intersurface Dynamics má prístup do technologického laboratória CMP v našej sesterskej spoločnosti Entrepix.
To nám umožňuje preveriť potenciálne spotrebné materiály a procesy CMP priamo na zákazníckych doštičkách a dodať našim zákazníkom proces na kľúč podporený zmysluplnými aplikačnými údajmi.
Naše laboratórium kvality je tiež vybavené na zabezpečenie všetkých analýz očakávaných pre citlivé polovodičové aplikácie. Tieto merania zahŕňajú: stopové kovy pomocou ICP-OES, pH a vodivosť, viskozitu a meranie veľkosti častíc na požiadanie.
Medzi hotové produkty patria Vector TXT Slurry Base ktorý sa používa v stave, v akom bol prijatý, a mieša sa s diamantom dodaným zákazníkom a predstavuje najuniverzálnejšie a najekonomickejšie riešenie. Diamantové suspenzie Vector CE je možné zakúpiť vopred zmiešané s diamantom.
Výhody:
Nastaviteľná rýchlosť odstraňovania fólií
laditeľná selektivita v situáciách, keď je na doštičke prítomných viacero materiálov
Prispôsobenie na dosiahnutie cieľovej topografie plátkov
Nízka defektnosť na kovových a oxidových vrstvách
Plne kompatibilný s dielektrikami s nízkym k, oxidmi, zloženými materiálmi a inými vrstvami, ktoré sa nachádzajú v moderných polovodičových integráciách
Bezpečné a úsporné používanie
Certifikovaný program ISO a plne schopné laboratórium kontroly kvality