Séria TENSOR DG
Čistiace riešenia pre výrobu integrovaných obvodov
Produkty radu TENSOR DG sú vodné detergenty vyvinuté na uľahčenie odstraňovania organických a anorganických vrstiev, kombinácií vrstiev, častíc a nečistôt z povrchu substrátu. Pri výbere správneho výrobku radu TENSOR DG sa eliminuje korózia/oxidácia filmov a/alebo prepojovacích štruktúr.
Tieto produkty sú navrhnuté tak, aby sa riedili vodou v množstve 2-5 %, čo vedie k mimoriadne bezpečným, ekonomickým a ekologickým riešeniam náročných problémov pri čistení.
Výrobky radu TENSOR DG sa môžu používať v procesoch využívajúcich pasivačné oplachovanie, čistenie kefou, čistenie rozprašovaním, ultrazvukové a megazvukové čistenie (vyhrievané alebo nevyhrievané). Výrobky sa môžu používať v kombinácii s existujúcimi čistiacimi prostriedkami, aby sa proces stal robustnejším.
Séria TENSOR DG sa používa na čistenie po CMP, pasivačné oplachovanie, leštenie CMP, čistenie po leštení/oplachovaní, oplachovanie po leštení/oplachovaní a všade tam, kde je potrebné povrchy pred ďalším spracovaním vyčistiť alebo opláchnuť.
Charakteristika
| Produkt | pH @ 4 % | Aplikácia procesu | Vhodné pre kov | Pena |
|---|---|---|---|---|
| DG 12 | 11.8 | Ultra/Megasonic | Bariéra/kondenzátor/ILD | Vysoká |
| DG 12-LF | 12.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Bariéra/kondenzátor/ILD | Nízka |
| DG 12-LM | 11.5 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Bariéra/kondenzátor/ILD | Nízka |
| DG 10 | 10.2 | Ultra/Megasonic | Bariéra/kondenzátor/ILD | Vysoká |
| DG 10-LF | 9.5 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Bariéra/kondenzátor/ILD | Nízka |
| DG 10-LM | 10.3 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Bariéra/kondenzátor/ILD | Nízka |
| DG 7 | 6.5 | Ultra/Megasonic | Cu/Al/W/ILD | Vysoká |
| DG 7-LF | 7.4 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Nízka |
| DG 7-LM | 5.9 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Nízka |
| DG 7-Cu | 7.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Med |
| DG 7-Al | 7.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Med |
| DG 3 | 3.7 | Ultra/Megasonic | Cu/Al/W/ILD | Vysoká |
| DG 3-LM | 3.4 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Nízka |
Inštrukcie
Odporúča sa, aby sa hodnotenie produktov radu TENSOR DG začalo pri riedení
4 % zmiešaného s deionizovanou (DI) vodou. Typ a stupeň zvyškov, ktoré sa majú odstrániť
sa líši od procesu k procesu a tieto faktory nakoniec určia konkrétne použitie
návod na použitie. Medzi ďalšie faktory, ktoré je potrebné zvážiť, patrí čas vystavenia doštičiek, teplota a
zariadenie.
Výhody:
Vynikajúca zmáčacia schopnosť a inhibícia korózie/oxidácie
Bezplatné oplachovanie - nezanecháva film ani zvyšky
Úplná kompatibilita s kovovými prepojovacími štruktúrami a obalmi
Bezpečné a úsporné používanie