Empfindliche Materialien. Anspruchsvolle Prozesse. Kein Raum für Fehler.
Optische und photonische Komponenten - ob aus Saphir, Quarzglas, Bariumtitanat oder Polycarbonat - erfordern extreme Präzision beim Schleifen, Läppen, Polieren und Reinigen. Diese Materialien sind spröde, reagieren empfindlich auf thermische und mechanische Belastungen und weisen sehr unterschiedliche physikalische Eigenschaften auf.
Bariumtitanat, Kalzium- und Magnesiumfluorid, Germanium, Lithiumniobat und -tantalat, Quarzglas, Rubin, Saphir und Zinkverbindungen sind nur eine unvollständige Liste der heute verwendeten optischen Materialien. Zu den keramischen Materialien gehören Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Aluminium-Titancarbid, Siliziumcarbid, Siliziumnitrid usw.
Die Hersteller müssen außerdem ein Gleichgewicht zwischen Durchsatz, Oberflächenqualität und Kosteneffizienz finden - und dabei mit den sich entwickelnden Materialien und Anforderungen der Branche Schritt halten.
Präzisionschemikalien für jede Phase Ihres Prozesses
Intersurface Dynamics bietet eine vollständige Palette von Prozesschemikalien, die auf die besonderen Anforderungen optischer und photonischer Materialien zugeschnitten sind - von Saphir, Quarzglas und Keramik bis hin zu Polycarbonat und hochbrechenden Kunststoffen. Ganz gleich, ob Sie in der Augenoptik, bei Flachbildschirmen, in der Solartechnik oder bei hochentwickelten photonischen Geräten arbeiten, unsere Chemikalien sind auf Leistung, Konsistenz und Sauberkeit ausgelegt.
Präzisionsoptik und -keramik
Optische und keramische Komponenten - von Saphir und Quarzglas bis hin zu Bariumtitanat und Siliziumkarbid - müssen mit äußerster Sorgfalt verarbeitet werden. Diese Materialien sind oft spröde, schwer zu polieren und sehr empfindlich gegenüber thermischen und mechanischen Belastungen.
Die Anlagen und Verfahren zur Herstellung von Komponenten und Geräten aus einer Vielzahl von optischen, piezoelektrischen und keramischen Materialien müssen präzise und dennoch flexibel sein. Bariumtitanat, Kalzium- und Magnesiumfluorid, Germanium, Lithiumniobat und -tantalat, Quarzglas, Rubin, Saphir und Zinkverbindungen sind nur eine unvollständige Liste der heute verwendeten optischen Materialien. Zu den keramischen Materialien gehören Aluminiumoxid, Aluminiumnitrid, Aluminium-Titancarbid, Siliziumcarbid, Siliziumnitrid usw.
Sobald eine optische Komponente oder ein keramisches Bauteil grob geformt oder gezüchtet ist, durchläuft sie/es eine Reihe von Prozessen, wie z. B. Kantenschleifen, Oberflächenschleifen, Sägen von Innen- oder Außendurchmessern und Würfeln, Läppen, Polieren, Reinigen und Beschichten. Das Ergebnis ist ein hochwertiges Fertigteil, das in der Satellitenoptik, bei Laserkomponenten, Panzerungen und anderen kritischen Technologieanwendungen eingesetzt wird. Intersurface Dynamics stellt die Kühl-/Schmiermittel her, die für die automatisierten und hochpräzisen Hochgeschwindigkeitsprozesse benötigt werden, mit denen diese Teile und Komponenten hergestellt werden.
IDI-Lösungen:
- Läpp- und Poliermittel auf Wasserbasis, die glatte, fehlerfreie Oberflächen liefern
- Kühl- und Schmiermittel für Hochgeschwindigkeitsschleifen, -schneiden und -trennen
- Reinigungsmittel, die Rückstände entfernen, ohne die Substrate zu beschädigen
Typische Anwendungen:
Satellitenoptik, Laserkomponenten, Panzerungen und piezoelektrische Bauteile
Augenheilkunde
Brillenglaslabors sehen sich mit einer wachsenden Nachfrage der Verbraucher nach Mehrwertmerkmalen wie bifokalen und trifokalen Gleitsichtgläsern, dünnwandigen Gläsern mit hohem Brechungsindex und asphärischen Gläsern sowie Gläsern mit Antireflexions- und Antikratzbeschichtungen konfrontiert.
Angesichts der steigenden Nachfrage nach Gleitsichtgläsern, kratzfesten Beschichtungen und Materialien mit hohem Brechungsindex sehen sich die Augenlaboratorien mit einer komplexen Mischung aus Substraten und Beschichtungen konfrontiert, die alle eine schonende, aber effektive Verarbeitung erfordern.
Auch bei den Brillengläsern geht der Trend von Glas zu Polycarbonat, harten Harzen und hochbrechenden Kunststoffen. Diese Materialien sind zwar leichter als Glas, bieten aber eine deutlich bessere Stoßfestigkeit. Da sie jedoch leichter zerkratzen als Glas, benötigen viele von ihnen eine Hartbeschichtung. Typische Verfahren zur Herstellung von Brillengläsern sind: Erzeugen/Schleifen, Feinschleifen/Polieren, Kantenschleifen und Reinigen vor der Beschichtung.
IDI-Lösungen:
- Synthetische Schleifflüssigkeiten für die Linsenherstellung
- Schlicker und Additive für das Feinpolieren von weichen oder beschichteten Linsen
- Ultraschall- und manuelle Reinigungslösungen zur Vorbereitung von Linsen für die Beschichtungshaftung
Fortschrittliche photonische Geräte und Spezialglas
Modernste Photonik erfordert makellose Oberflächen bei immer exotischeren Materialien. Diese Komponenten sind oft klein, komplex geformt und sehr empfindlich gegenüber Verunreinigungen.
Von LiNbO₃-Modulatoren bis hin zu photonischen Komponenten auf Waferebene verschwimmen die Grenzen zwischen Photonik und Halbleiterfertigung immer mehr. Die heutigen photonischen Bauelemente beruhen häufig auf denselben ultraflachen Substraten, hochreinen chemischen Verfahren und Prozesskontrollen, die auch bei der fortschrittlichen Halbleiterherstellung zum Einsatz kommen.
Silizium-Wafer mit mehrfarbigen reflektierenden Oberflächen sind ein Beispiel für die Überschneidung von modernen Materialien und Dünnfilm-Interferenzbeschichtungen, wie sie in modernen Photonik- und Halbleiterbauelementen üblich sind, wo präzise Oberflächenebenheit, Materialkompatibilität und Verschmutzungskontrolle für die Leistung der Bauelemente entscheidend sind.
IDI-Lösungen:
- Maßgeschneiderte Schlämme und Additive für Saphir, Siliziumkarbid, Lithiumniobat, Tantalat und Germanium
- Hochreine Reinigungsmittel, die die Reinigung, Beschichtung und Verklebung nach dem Polieren unterstützen
- Unterstützung bei der Prozessentwicklung für integrierte photonische und elektronische Komponenten
Flachbildschirme
Da die Glassubstrate immer dünner und größer werden, ist der Bedarf an Ebenheit, Oberflächengleichmäßigkeit und Sauberkeit größer denn je - vor allem angesichts der hohen Ausschussraten bei der Herstellung großer LCD-Panels.
Da die Hersteller von großen LCDs oft bis zu 40 Prozent der Panels, die vom Band laufen, zurückweisen, sind Prozessverbesserungen - viele in Verbindung mit anwendungsspezifischen Chemikalien - für den künftigen Erfolg der Branche im Hinblick auf größere, erschwinglichere Displays von entscheidender Bedeutung. Intersurface Dynamics verfügt über eine Vielzahl von Produkten, die die Herstellung sowohl des Display-Glases als auch der Flüssigkristallanzeige (LCD) eines Flachbildschirms verbessern.
Zu den Verfahren, die zur Herstellung eines flachen, ultraglatten LCD-Display-Glases eingesetzt werden, gehören Reinigen, Schleifen oder Abschrägen der Kanten und Polieren. Die Verwendung von Dünnschichttransistoren (TFTs) ist die vorherrschende Technologie bei der Herstellung von Aktivmatrix-LCDs, obwohl sich diese Technologie weiter entwickelt, da die Größe des Glassubstrats weiter zunimmt.
IDI-Lösungen:
- Polieradditive für ultraglatte LCD-Glasoberflächen
- Schaumarme, rückstandsarme Spritzreinigungsmittel
- Unterstützung für TFT-basierte Technologien und sich entwickelnde Anzeigeformate
Flachglas & Spiegel
Ob für architektonische, labortechnische oder dekorative Zwecke, Spiegel- und Flachglaskomponenten erfordern makellose Klarheit und Beschichtungskompatibilität. Die Oberflächenvorbereitung ist der Schlüssel zu Qualität und Durchsatz.
Das Polieren wird häufig durchgeführt, um eine sehr ebene, gleichmäßige oder glänzende Oberfläche mit geringer Oberflächenrauhigkeit zu erzielen. Spezialbeschichtungen in der letzten Stufe, wie Blendschutzbeschichtungen, Farbtönungen oder spezielle Reflexionsbeschichtungen für Spiegel, die in technischen und Laboranwendungen eingesetzt werden, erfordern eine extrem saubere Glasoberfläche für eine optimale Haftung und erfordern Reinigungsverfahren, die von Ultraschall bis zur manuellen Reinigung reichen. Intersurface Dynamics stellt ein komplettes Sortiment an Produkten her, die die Effizienz von Flachglas- und Spiegelbearbeitungsanwendungen in Bezug auf Durchsatz, Qualität und ggf. Werkzeugstandzeit erhöhen.
Flachglasscheiben durchlaufen häufig weitere Bearbeitungsschritte, um sie für bestimmte Verwendungszwecke geeignet zu machen. Form und Größe werden mit Schneidwerkzeugen bestimmt, die mit Diamanten oder anderen Schleifmitteln bestückt sind. Durch Bohren und Senken werden Löcher geschaffen, während durch Kantenschleifen und Anfasen abgerundete oder abgeschrägte Kanten für einen dekorativen Effekt entstehen.
IDI-Lösungen:
- Kühlmittel zum Schleifen, Trennen und Kantenfräsen
- Polierpasten, die eine glatte, glänzende Oberfläche erzeugen
- Wässrige Reiniger zur Vorbereitung von Oberflächen für Beschichtung und Verklebung
Solar
Hocheffiziente Solarwafer werden aus gegossenen multikristallinen oder gewachsenen monokristallinen Siliziumblöcken hergestellt. Das Verfahren beginnt mit dem Abschneiden der Enden der Ingots mit Ring- oder Stichsägen. Anschließend werden die Ingots mit abrasiven Sägen zu Blöcken quadriert. Moderne Quadriermaschinen verwenden diamantbeschichtete Drähte mit speziellem Kühlmittel, wodurch sich die Bearbeitungszeit halbiert und weniger Abfall anfällt als bei älteren Systemen, die Siliziumkarbid-Slurry verwendeten.
Nach dem Quadrieren werden die Kanten der Blöcke mit einer Diamantschleifscheibe abgeschrägt, um Ausbrüche zu vermeiden. Die abgeschrägten Blöcke werden dann auf Balken montiert und mit einer Drahtsäge mit Siliziumkarbidaufschlämmung in dünne Wafer geschnitten. Die Wafer werden gespült, um den größten Teil der Rückstände zu entfernen, dann demontiert und mit Ultraschall- und Sprühgeräten gereinigt.
Saubere Wafer werden entweder so verkauft, wie sie sind, oder für die weitere Verarbeitung aufbewahrt, z. B. für die Texturierung oder das Ätzen. Diese Wafer werden schließlich zu Photovoltaikzellen verarbeitet, die Sonnenlicht in Strom umwandeln. Eine Reihe von anwendungsspezifischen Chemikalien kann während dieser Schritte eingesetzt werden, um die Sauberkeit zu verbessern, Defekte zu reduzieren und die Gesamtproduktionsausbeute zu erhöhen.
IDI-Lösungen:
- Kühlmittel für das Ablängen und Seilsägen
- Schlämme, die empfindliche Waferkanten beim Ausdünnen schützen
- Ultraschallreiniger, die für rückstandsfreie Oberflächen sorgen
Finden Sie die richtige Chemie für Ihren Prozess
Wir haben uns auf anwendungsspezifische Lösungen spezialisiert, die auf Ihre Materialien, Prozesse und Leistungsziele zugeschnitten sind. Ganz gleich, ob Sie Hilfe bei der Auswahl des richtigen Produkts oder bei der Entwicklung einer kundenspezifischen Formulierung benötigen, unsere Experten sind für Sie da.
Expertenlösungen, für Sie entwickelt
Spezialisierte Lösungen für die moderne Halbleiterfertigung
Amtech Semiconductor Fabrication Solutions ist ein Geschäftsbereich von Amtech Systems, Inc. und ein weltweiter Anbieter von Anlagen und Materialien für die Halbleiterindustrie. Dieses Segment liefert Investitionsgüter und Verbrauchsmaterialien, die während des gesamten Halbleiterherstellungsprozesses - einschließlich Advanced Packaging und Elektronikfertigung - eingesetzt werden und alles von der Substratverarbeitung bis zur Endmontage abdecken.
Die Marken Intersurface Dynamics, Entrepix und PR Hoffman von Amtech Semiconductor Fabrication Solutions zeichnen sich durch ihr Engagement für kundenspezifische Lösungen aus - was immer der Kunde benötigt, sie liefern es. Über die kundenspezifische Anpassung hinaus liegt ihr Wettbewerbsvorteil in der Reaktionsfähigkeit, die sich durch schnelle Durchlaufzeiten zur Erfüllung der Kundenanforderungen auszeichnet. Darüber hinaus arbeitet jede Marke mit einem tiefgreifenden, prozessspezifischen Fokus und bringt Spezialisten aus eng verwandten Bereichen zusammen. Diese Struktur stellt sicher, dass die Kunden von echtem Fachwissen profitieren, das auf ihre spezifischen Fertigungsanforderungen zugeschnitten ist.
Amtech Semiconductor Fabrication Solutions unterstützt Ihren Fertigungsprozess durch fachkundige Zusammenarbeit. Unsere spezialisierten Tochtergesellschaften - Intersurface Dynamics, PR Hoffman und Entrepix - verfügen über ein unvergleichliches Fachwissen in Bezug auf anwendungsspezifische Chemikalien, Polier- und Läppschablonen sowie CMP-bezogene Upgrades. Als flinkes und reaktionsschnelles Unternehmen zeichnen wir uns durch schnelle Partnerschaften aus, die es uns ermöglichen, maßgeschneiderte Lösungen für Ihre individuellen Herausforderungen zu entwickeln. Gemeinsam verbessern wir jeden kritischen Schritt Ihrer Halbleiter-, Verbindungshalbleiter- und Substratherstellungsprozesse und fördern so Innovation und Präzision.
Herstellungsverfahren für Halbleitersubstrate
Eingangssubstrat
- Si (Silizium)
- SiC (Siliziumkarbid)
- GaN (Galliumnitrid)
- GaAs (Galliumarsenid)
- InP (Indiumphosphid)
- Glas
- Sapphire
Ausgabe
Fertige Wafer oder Substrat
Ausgewählte Produkte
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