VECTOR HTS-Reihe
Läpp-/Polierschlammadditive für Halbleitermaterialien
HTS-1.3 EU | HTS-1.4 EU | HTS-3
Die Produkte der Vector HTS-Serie sind biologisch abbaubare, viskose Polymer/Tensid-Gemische, die zur Verwendung mit Aluminiumoxid (entweder PWA-Typ oder FO-Typ) und entionisiertem Wasser formuliert wurden, um eine suspensionsartige Läppschlämme zu bilden.
Die Produkte der Vector HTS-Serie, die in erster Linie für das Läppen von Siliziumwafern entwickelt wurden, dispergieren und suspendieren das Schleifmaterial über einen längeren Zeitraum mit relativ geringen Veränderungen der physikalischen oder chemischen Eigenschaften. Die Produkte sind für den Einsatz auf allen Arten von Läppplatten konzipiert und eignen sich besonders gut für geriffelte oder gerillte Platten. Die Produkte der HTS-Serie unterscheiden sich chemisch und physikalisch, was zu Unterschieden in der Benetzung, Filmstärke und Viskosität führt. Lassen Sie sich ein Produkt der HTS-Serie von einem von Intersurface Dynamics geschulten Vertriebsingenieur spezifizieren. Einige der Variablen, die sich auf die Wahl des HTS-Produkts auswirken, sind: Art der Läppplatten, Art des Pumpensystems, Marke der Maschine, Betriebsdruck und Art des Schleifmittels. Eine Auswahl von Vector Produkten der HTS-Serie bietet dem Anwender genau die richtige Chemie, um optimale Ergebnisse bei einem Läppprozess zu erzielen.
Wegbeschreibung
Die Produkte der VECTOR HTS Serie sollten mit entionisiertem Wasser und Schleifmittel nach der folgenden Formel gemischt werden: 77-82% Wasser, 15-18% Schleifmittel, 3-5% Produkt der HTS-Serie.
- Verwenden Sie ein Rührwerk mit einer Schiffsschraube und einem Motor mit einer Drehzahl von 1750 U/min.
- Verwenden Sie eine Dosierpumpe mit geringer Scherkraft, um den gemischten Schlamm auf den Wickel aufzutragen.
- Dispergieren Sie das Schleifmittel mit DI-Wasser zwischen 500 und 1500 U/min für 10 Minuten.
- Produkt der HTS-Serie hinzufügen.
Etwa 5-10 Minuten lang mischen. - Vermeiden Sie es, während des Mischens Luft in die Aufschlämmung zu saugen.
- Beim Mischen des Produkts sollte sich ein kleiner Wirbel an der Oberfläche des Schlamms bilden.
- Danach schalten Sie den Mischer aus oder stellen Sie ihn auf maximal 50 U/min. ein.
Zusätzliche Informationen
VECTOR Produkte sind in 5-Gallonen-Eimern und 55-Gallonen-Fässern, F.O.B. Bethel, Connecticut, erhältlich und umfassen: Schleifflüssigkeiten, Sägeflüssigkeiten, Spül-/Waschmittel und Ultraschall-Reinigungsmittel. Rufen Sie uns an, wenn Sie Fragen zum Lagervertrieb in Seoul, KOREA, Tokio, JAPAN und Zürich, SCHWEIZ haben. Materialsicherheitsdatenblätter sind auf Anfrage erhältlich.
Vorteile:
Erzeugt flachere Waffeln
Verringert Wafer-Beschädigungen
Erhöht den Kürzungssatz
Hilft, das Kratzen zu beseitigen
Erleichtert die Reinigung nach dem Läppen
Liefert konsistentere Ergebnisse
Verhindert die Verschmutzung von Waffeln
Reduziert den Einsatz von Schleifmitteln