VECTOR HTS-Reihe

Läpp-/Polierschlammadditive für Halbleitermaterialien

HTS-1.3 EU | HTS-1.4 EU | HTS-3

Die Produkte der Vector HTS-Serie sind biologisch abbaubare, viskose Polymer/Tensid-Gemische, die zur Verwendung mit Aluminiumoxid (entweder PWA-Typ oder FO-Typ) und entionisiertem Wasser formuliert wurden, um eine suspensionsartige Läppschlämme zu bilden.

Die Produkte der Vector HTS-Serie, die in erster Linie für das Läppen von Siliziumwafern entwickelt wurden, dispergieren und suspendieren das Schleifmaterial über einen längeren Zeitraum mit relativ geringen Veränderungen der physikalischen oder chemischen Eigenschaften. Die Produkte sind für den Einsatz auf allen Arten von Läppplatten konzipiert und eignen sich besonders gut für geriffelte oder gerillte Platten. Die Produkte der HTS-Serie unterscheiden sich chemisch und physikalisch, was zu Unterschieden in der Benetzung, Filmstärke und Viskosität führt. Lassen Sie sich ein Produkt der HTS-Serie von einem von Intersurface Dynamics geschulten Vertriebsingenieur spezifizieren. Einige der Variablen, die sich auf die Wahl des HTS-Produkts auswirken, sind: Art der Läppplatten, Art des Pumpensystems, Marke der Maschine, Betriebsdruck und Art des Schleifmittels. Eine Auswahl von Vector Produkten der HTS-Serie bietet dem Anwender genau die richtige Chemie, um optimale Ergebnisse bei einem Läppprozess zu erzielen.

Wegbeschreibung

Die Produkte der VECTOR HTS Serie sollten mit entionisiertem Wasser und Schleifmittel nach der folgenden Formel gemischt werden: 77-82% Wasser, 15-18% Schleifmittel, 3-5% Produkt der HTS-Serie.

  • Verwenden Sie ein Rührwerk mit einer Schiffsschraube und einem Motor mit einer Drehzahl von 1750 U/min.
  • Verwenden Sie eine Dosierpumpe mit geringer Scherkraft, um den gemischten Schlamm auf den Wickel aufzutragen.
  • Dispergieren Sie das Schleifmittel mit DI-Wasser zwischen 500 und 1500 U/min für 10 Minuten.
  • Produkt der HTS-Serie hinzufügen.
    Etwa 5-10 Minuten lang mischen.
  • Vermeiden Sie es, während des Mischens Luft in die Aufschlämmung zu saugen.
  • Beim Mischen des Produkts sollte sich ein kleiner Wirbel an der Oberfläche des Schlamms bilden.
  • Danach schalten Sie den Mischer aus oder stellen Sie ihn auf maximal 50 U/min. ein.

Zusätzliche Informationen

VECTOR Produkte sind in 5-Gallonen-Eimern und 55-Gallonen-Fässern, F.O.B. Bethel, Connecticut, erhältlich und umfassen: Schleifflüssigkeiten, Sägeflüssigkeiten, Spül-/Waschmittel und Ultraschall-Reinigungsmittel. Rufen Sie uns an, wenn Sie Fragen zum Lagervertrieb in Seoul, KOREA, Tokio, JAPAN und Zürich, SCHWEIZ haben. Materialsicherheitsdatenblätter sind auf Anfrage erhältlich.

Vorteile:

Erzeugt flachere Waffeln


Verringert Wafer-Beschädigungen


Erhöht den Kürzungssatz


Hilft, das Kratzen zu beseitigen


Erleichtert die Reinigung nach dem Läppen


Liefert konsistentere Ergebnisse


Verhindert die Verschmutzung von Waffeln


Reduziert den Einsatz von Schleifmitteln