VECTOR HTS 系列

用于半导体材料的研磨/抛光浆料添加剂

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Vector HTS 系列产品是可生物降解的粘稠聚合物/表面活性剂混合物,可与氧化铝(PWA 型或 FO 型)和去离子水配制成悬浮式研磨浆。

Vector HTS 系列产品主要用于研磨硅晶片,可长时间完全分散和悬浮研磨材料,物理或化学特性变化相对较小。该产品专为所有类型的研磨板而设计,尤其适用于锯齿状或沟槽状研磨板。HTS 系列产品的化学和物理特性不同,因此在润湿性、薄膜强度和粘度方面也有所不同。请由经过 Intersurface Dynamics 培训的销售工程师指定 HTS 系列产品。影响 HTS 系列产品选择的一些变量包括:研磨板类型、泵送系统类型、机器品牌、工作压力和磨料类型。 选择 Vector HTS 系列产品可为用户提供正确的化学成分,使研磨过程达到最佳效果。

路线指引

VECTOR HTS 系列产品应与去离子水和研磨剂混合,泥浆配方如下:77-82% 水、15-18% 磨料、3-5% HTS 系列产品。

  • 使用带有船用螺旋桨的搅拌器和转速为 1750 RPM 的电机。
  • 使用低剪切力分配泵将混合浆料送入搭接处。
  • 用去离子水在 500 至 1500 转/分之间分散研磨剂 10 分钟。
  • 加入 HTS 系列产品。
    混合约 5-10 分钟。
  • 搅拌时避免将空气吸入泥浆中。
  • 产品混合时,泥浆表面应形成一个小漩涡。
  • 然后,关闭搅拌机,或将其转速调至最大 50 转/分钟。

其他信息

VECTOR 产品以 5 加仑桶装和 55 加仑桶装供应,F.O.B. 贝瑟尔,康涅狄格州,包括:研磨液、锯切液、冲洗/清洗剂和超声波清洗剂。有关韩国首尔、日本东京和瑞士苏黎世的仓库配送情况,请致电咨询。可索取材料安全数据表。

好处

生产出更平整的晶片


减少晶片损坏


提高削减率


有助于消除抓痕


便于搭接后清洁


提供更一致的结果


有助于防止晶片染色


减少磨料的使用