TENSOR Serie DG
Soluciones de limpieza para la fabricación de circuitos integrados
Los productos de la serie TENSOR DG son detergentes acuosos formulados para facilitar la eliminación de películas orgánicas e inorgánicas, combinaciones de películas, partículas y residuos de la superficie del sustrato. Cuando se selecciona el producto correcto de la Serie TENSOR DG, se elimina la corrosión/oxidación de las películas y/o estructuras de interconexión.
Estos productos están diseñados para diluirse con agua a niveles de entre el 2 y el 5%, lo que da como resultado soluciones extremadamente seguras, económicas y respetuosas con el medio ambiente para problemas de limpieza difíciles.
Los productos de la serie DG de TENSOR pueden utilizarse en procesos que empleen enjuagues de pasivación, limpieza con cepillo, limpieza por pulverización, limpieza ultrasónica y megasónica (calentada o no calentada). Los productos pueden utilizarse en combinación con limpiezas existentes para reforzar el proceso.
Las aplicaciones de la serie TENSOR DG incluyen post-CMP, aclarados de pasivación, pulido CMP, limpieza post-grabado/lavado, aclarado post-grabado/lavado, y dondequiera que las superficies necesiten ser limpiadas o aclaradas antes del procesado adicional.
Características
| Producto | pH al 4 | Proceso de solicitud | Apto para metal | Espuma |
|---|---|---|---|---|
| DG 12 | 11.8 | Ultra/Megasónica | Barrera/Capacitor/ILD | Alta |
| DG 12-LF | 12.0 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Barrera/Capacitor/ILD | Bajo |
| DG 12-LM | 11.5 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Barrera/Capacitor/ILD | Bajo |
| DG 10 | 10.2 | Ultra/Megasónica | Barrera/Capacitor/ILD | Alta |
| DG 10-LF | 9.5 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Barrera/Capacitor/ILD | Bajo |
| DG 10-LM | 10.3 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Barrera/Capacitor/ILD | Bajo |
| DG 7 | 6.5 | Ultra/Megasónica | Cu/Al/W/ILD | Alta |
| DG 7-LF | 7.4 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Cu/Al/W/ILD | Bajo |
| DG 7-LM | 5.9 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Cu/Al/W/ILD | Bajo |
| DG 7-Cu | 7.0 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Cu/Al/W/ILD | Med |
| DG 7-Al | 7.0 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Cu/Al/W/ILD | Med |
| DG 3 | 3.7 | Ultra/Megasónica | Cu/Al/W/ILD | Alta |
| DG 3-LM | 3.4 | Ultra/Mega/Pincel/Pulverizador | Cu/Al/W/ILD | Bajo |
Cómo llegar
Se recomienda que la evaluación de los productos de la serie TENSOR DG comience con una dilución
del 4% mezclada con agua desionizada (DI). El tipo y grado de residuo a eliminar
varía de un proceso a otro y estos factores determinarán en última instancia las instrucciones de uso específicas.
instrucciones de uso. Otros factores a considerar son el tiempo de exposición de la oblea, la temperatura y el equipo.
el equipo.
Ventajas:
Superior capacidad de humectación e inhibición de la corrosión/oxidación
Sin aclarado - no deja película ni residuos
Totalmente compatible con estructuras de interconexión y envases metálicos
Uso seguro y económico