Série TENSOR DG
Solutions de nettoyage pour la fabrication de circuits intégrés
Les produits de la série TENSOR DG sont des détergents aqueux formulés pour faciliter l'élimination des films organiques et inorganiques, des combinaisons de films, des particules et des débris de la surface du substrat. Le choix du produit TENSOR DG Series approprié permet d'éliminer la corrosion et l'oxydation des films et/ou des structures d'interconnexion.
Ces produits sont conçus pour être dilués dans l'eau à des niveaux compris entre 2 et 5 %, ce qui permet de trouver des solutions extrêmement sûres, économiques et respectueuses de l'environnement à des problèmes de nettoyage difficiles.
Les produits de la série TENSOR DG peuvent être utilisés dans des processus employant des rinçages de passivation, des nettoyages à la brosse, des nettoyages par pulvérisation, des nettoyages par ultrasons et par mégasons (chauffés ou non). Les produits peuvent être utilisés en combinaison avec des nettoyants existants pour rendre le processus plus robuste.
Les applications de la série TENSOR DG comprennent les rinçages post-CMP, les rinçages de passivation, les nettoyages CMP, les nettoyages post-mordançage, les rinçages post-mordançage, et partout où les surfaces doivent être nettoyées ou rincées avant le traitement supplémentaire.
Caractéristiques
| Produit | pH à 4 | Processus de demande | Adapté au métal | Mousse |
|---|---|---|---|---|
| DG 12 | 11.8 | Ultra/méga-sonique | Barrière/condensateur/ILD | Haut |
| DG 12-LF | 12.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Barrière/condensateur/ILD | Faible |
| DG 12-LM | 11.5 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Barrière/condensateur/ILD | Faible |
| DG 10 | 10.2 | Ultra/méga-sonique | Barrière/condensateur/ILD | Haut |
| DG 10-LF | 9.5 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Barrière/condensateur/ILD | Faible |
| DG 10-LM | 10.3 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Barrière/condensateur/ILD | Faible |
| DG 7 | 6.5 | Ultra/méga-sonique | Cu/Al/W/ILD | Haut |
| DG 7-LF | 7.4 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Faible |
| DG 7-LM | 5.9 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Faible |
| DG 7-Cu | 7.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Méd. |
| DG 7-Al | 7.0 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Méd. |
| DG 3 | 3.7 | Ultra/méga-sonique | Cu/Al/W/ILD | Haut |
| DG 3-LM | 3.4 | Ultra/Mega/Brush/Spray | Cu/Al/W/ILD | Faible |
Directions
Il est recommandé de commencer l'évaluation des produits de la série TENSOR DG à une dilution de 4 % mélangée à de l'eau désionisée (DI).
de 4 % mélangés à de l'eau désionisée (DI). Le type et le degré de résidu à éliminer varient d'un procédé à l'autre et ce sont ces facteurs qui détermineront l'utilisation spécifique.
varient d'un procédé à l'autre et ces facteurs détermineront en fin de compte les instructions d'utilisation spécifiques.
d'utilisation. D'autres facteurs à prendre en compte sont le temps d'exposition des plaquettes, la température et l'équipement.
l'équipement.
Avantages :
Capacité de mouillage et inhibition de la corrosion et de l'oxydation supérieures
Rinçage facile - ne laisse pas de film ni de résidu
Entièrement compatible avec les structures d'interconnexion et les emballages métalliques
Utilisation sûre et économique