VECTOR Serie C-E Diamantschlämme
C-E Diamond Slurry speziell für Siliziumkarbid entwickelt
VECTOR Series C-E Diamond Slurries sind wässrige, synthetische Formulierungen, die zur Optimierung der Materialabtragsrate (MRR, siehe Abbildung 1a unten) und der Oberflächengüte (Abbildung 1b-c und Abbildung 2) beim Polieren von Siliziumkarbid (SiC) mit einem Pad entwickelt wurden.
Die Schlämme sind suspendiert, so dass sie mit Hilfe einer Schlauchpumpe leicht aus dem Schlammtank auf das Werkstück aufgetragen werden können. Vor der Anwendung ist ein leichtes Rühren erforderlich, während während der Arbeitszyklen ein konstantes Mischen bei niedriger Geschwindigkeit empfohlen wird.
Abbildung 1. a) MRR in Mikrometern pro Stunde, b) durchschnittliche Rauheit (Ra) in Angström (Å) und c) maximale Rauheit von Spitze zu Tal (Rmax) in Å von SiC mit 0-2 μm oder 2-4 μm polykristallinem Diamant. Die Ergebnisse sind typisch für SiC-Wafer, die auf Maschinen der Serie PR Hoffman Servo RS mit Suba 800-Pads poliert wurden.
Typische Eigenschaften:
- pH-Wert - 7,9
- Leitfähigkeit mS/cm - 4.6
- Spezifische Schwerkraft - 1,03
Abbildung 2. Typische profilometrische Scans der SiC-Oberfläche nach 1-stündigem Polieren mit Vector Series C-E Diamond Slurry unter Verwendung von a) 0-2 μm oder b) 2-4 μm Diamanten.
Wegbeschreibung:
VECTOR Diamond Slurries der Serie C-E sind für die Verwendung im Anlieferungszustand konzipiert. Die Durchflussmenge wird durch die Größe und Konfiguration des Pads bestimmt.
Zusätzliche Informationen:
Diamantschlämme der Serie VECTOR sind in 1-Gallonen-Flaschen, 2,5-Gallonen-Flaschen, 5-Gallonen-Eimern und 55-Gallonen-Fässern erhältlich. Sicherheitsdatenblätter sind auf Anfrage erhältlich.
Vorteile:
Bessere Oberflächenbeschaffenheit
Schnellerer Abtransport
Hohe Schmierfähigkeit
Enthält keine Glykole oder Öle
Nicht korrosiv gegenüber Eisenmetallen