VECTOR C-E 系列金刚石泥浆

泥浆是悬浮的，便于通过蠕动泵从泥浆罐输送到工件上。使用前需要进行轻微搅拌，建议在运行周期内持续低速搅拌。

图 1： a）以微米/小时为单位的 MRR；b）以埃（Å）为单位的平均粗糙度 (Ra)；c）以埃（Å）为单位的使用 0-2 μm 或 2-4 μm 聚晶金刚石的碳化硅最大峰谷粗糙度 (Rmax)。这些结果是在装有 Suba 800 研磨垫的 PR Hoffman Servo RS 系列机器上抛光的碳化硅晶片的典型结果。

典型特性

• pH - 7.9
• 电导率 mS/cm - 4.6
• 比重 - 1.03

图 2.使用 a) 0-2 μm 或 b) 2-4 μm 金刚石，用 Vector 系列 C-E 金刚石研磨液抛光 1 小时后，对 SiC 表面进行的典型轮廓扫描。

方向

VECTOR C-E 系列金刚石泥浆是按收到的物料设计的。流量由衬垫的尺寸和配置决定。

其他信息

VECTOR 系列金刚石泥浆有 1 加仑瓶装、2.5 加仑瓶装、5 加仑桶装和 55 加仑桶装。可索取安全数据表。