VECTOR HTC-SCA Baureihe
Ultraschall-/Megaschall-Reinigungsmittel
Bei der VECTOR HTC-SCA Serie handelt es sich um Reinigungsmittel auf Wasserbasis, die so formuliert sind, dass sie die durch Ultraschall- oder Megaschallgeräte auf der Substratoberfläche freigesetzte Kavitationsenergie erhöhen. Die Produkte sind für eine effektivere Reinigung von nachgeläppten, nachgeätzten und nachpolierten Substraten konzipiert.
Bei wirtschaftlicher Verdünnung entfernt die VECTOR HTC-SCA Serie leichte organische Verunreinigungen, Polymere und Submikronpartikel, die sich typischerweise auf der Oberfläche von Halbleitermaterialien befinden. Diese Verunreinigungen sind oft die Ursache für Flecken und Streifen auf den Wafern bei der Untersuchung nach dem Ätzen.
Die Reinigungsmittel der Serie VECTOR HTC-SCA werden für die Vorreinigung und die Endreinigung von Solarsilizium-Produktionslinien empfohlen, wo immer Ultraschallreinigung eingesetzt wird. Diese Produkte entfernen organische und anorganische Verunreinigungen und Partikel sowohl von monokristallinem als auch von multikristallinem Silizium.
Die VECTOR HTC-SCA Serie kann in beheizten oder unbeheizten Ultraschallwannen eingesetzt werden und wird auch für Bürsten- und Tauchbadanwendungen empfohlen.
Es gibt 6 Produkte der SCA-Serie: VECTOR HTC-SCA, VECTOR HTC-SCA-N, VECTOR HTCSCA-1, VECTOR HTC-SCA-1-N, VECTOR HTC-SCA-2 und VECTOR SCA-13.
Wegbeschreibung
Es wird empfohlen, die VECTOR HTC-SCA-Serie zunächst mit einer Verdünnung von 4 % in deionisiertem Wasser zu testen, obwohl Leitungswasser, das keine harten Wasserionen enthält, ebenfalls akzeptabel ist. Da die Art und das Ausmaß der zu entfernenden Rückstände variieren, werden diese Faktoren letztendlich die spezifischen "Inhouse"-Verdünnungen bestimmen. Weitere Faktoren, die zu berücksichtigen sind, sind die Einwirkzeit auf die Wafer und die Leistung des verwendeten Ultraschallgeräts.
Zusätzliche Informationen
VECTOR Produkte sind in 5-Gallonen-Eimern und 55-Gallonen-Fässern, F.O.B. Bethel, Connecticut, erhältlich und umfassen auch Schleifflüssigkeiten, Suspensionsmittel für Läpp-/Polierschlämme, Spül-/Nasslagerungszusätze und Ultraschall-/Megaschall-Reinigungsmittel. Materialsicherheitsdatenblätter sind auf Anfrage erhältlich.
Vorteile:
Hervorragende Benetzungsfähigkeit
Freie Spülung - hinterlässt keinen Film oder Rückstände
Vollständig kompatibel mit anderen VECTOR Produkten
Sparsam im Verbrauch und leicht zu filtern