Série VECTOR HTC-SCA
Détergents à ultrasons/mégasons
Les produits de la série VECTOR HTC-SCA sont des détergents à base d'eau formulés pour augmenter l'énergie de cavitation libérée sur la surface du substrat par les appareils à ultrasons ou à mégasons. Ces produits sont conçus pour un nettoyage plus efficace des substrats post-lamellés, post-mordancés et post-polis.
Utilisée à des taux de dilution économiques, la série VECTOR HTC-SCA élimine les composés organiques légers, les polymères et les particules submicroniques que l'on trouve généralement à la surface des matériaux semi-conducteurs. Ces contaminants sont souvent à l'origine de la coloration et de la formation de stries lors de l'examen de la plaquette après la gravure.
Les détergents de la série VECTOR HTC-SCA sont recommandés pour les étapes de pré-nettoyage et de nettoyage final des lignes de production de silicium solaire, partout où le nettoyage par ultrasons est appliqué. Ces produits éliminent la contamination organique et inorganique et les particules du silicium monocristallin et multicristallin.
La série VECTOR HTC-SCA peut être utilisée dans des cuves à ultrasons chauffées ou non chauffées, et est également recommandée pour les applications de brossage et de trempage.
La série SCA comprend 6 produits : VECTOR HTC-SCA, VECTOR HTC-SCA-N, VECTOR HTCSCA-1, VECTOR HTC-SCA-1-N, VECTOR HTC-SCA-2 et VECTOR SCA-13.
Directions
Il est recommandé de commencer l'évaluation de la série VECTOR HTC-SCA à des dilutions de 4 % mélangées à de l'eau désionisée (DI), bien que l'eau du robinet qui ne contient pas d'ions d'eau dure soit également acceptable. Comme le type et le degré de résidus à éliminer varient, ce sont ces facteurs qui détermineront en fin de compte les dilutions "internes" spécifiques. D'autres facteurs à prendre en compte sont le temps d'exposition des plaquettes et la puissance de l'équipement ultrasonique utilisé.
Informations complémentaires
Les produits VECTOR sont disponibles en seaux de 5 gallons et en fûts de 55 gallons, F.O.B. Bethel, Connecticut, et comprennent également des fluides de broyage, des agents de suspension pour les boues de rodage/polissage, des additifs de rinçage/stockage humide et des détergents ultrasoniques/mégasoniques. Les fiches de données de sécurité sont disponibles sur demande.
Avantages :
Capacité de mouillage supérieure
Rinçage facile - ne laisse pas de film ni de résidu
Entièrement compatible avec les autres produits VECTOR
Utilisation économique et facilité de filtrage