TENSEUR D-Rinse
Additif pour les cycles de rinçage des tampons à haute pression et de décoquillage des plaquettes
Tensor D-Rinse est un additif spécialement formulé pour être utilisé dans les systèmes de rinçage des tampons à haute pression et de décollage des plaquettes des outils CMP d'aujourd'hui.
Ajouté à l'eau de rinçage à des concentrations comprises entre 10 et 25 %, Tensor D-Rinse réduit les rayures légères produites pendant le cycle de rinçage et de décochage à haute pression.
Tensor D-Rinse facilitera également l'élimination de la chimie des boues, des particules et des résidus de tampons, augmentant ainsi l'efficacité des processus de nettoyage post-CMP (mégasons et brosses) des plaquettes.
Tensor D-Rinse est formulé pour éliminer la corrosion/l'oxydation des métaux qui peuvent se produire pendant le transport des plaquettes vers les 2e et 3e phases ainsi que pendant le transport retardé vers la station de nettoyage.
Directions
Il est recommandé d'ajouter Tensor D-Rinse à la ligne de rinçage à l'eau sous haute pression à raison de 10 % à 25 %. Les types de résidus post-CMP, la durée de la pulvérisation, la pression de pulvérisation, la composition chimique de la boue et d'autres facteurs du processus déterminent en fin de compte les dilutions spécifiques et les méthodes d'utilisation.
Avantages :
Mouillage supérieur avec peu de mousse
Rinçage gratuit - ne laisse pas de film ni de résidu
Nettoie les résidus laissés par toutes les boues CMP disponibles dans le commerce
Entièrement compatible avec les schémas métalliques avancés et les diélectriques associés
Entièrement compatible avec tous les outils CMP standard de l'industrie et les systèmes de rinçage des tampons et de décollage des plaquettes.
Facile à mettre en œuvre
Utilisation sûre et économique