TENSOR D-Rinse
Aditivo para ciclos de enjuague de almohadillas/descascarillado de obleas a alta presión
Tensor D-Rinse es un aditivo especialmente formulado y diseñado para su uso en los sistemas de enjuague de alta presión y de desprendimiento de obleas de las herramientas CMP actuales.
Cuando se añade al agua de aclarado en concentraciones entre el 10% y el 25%, Tensor D-Rinse reducirá los ligeros arañazos producidos durante el ciclo de aclarado/desenjuague a alta presión.
Tensor D-Rinse también facilitará la eliminación de la química del lodo, las partículas y los residuos de las almohadillas, aumentando así la eficacia de los procesos de limpieza de obleas posteriores a la CMP (megasonic y cepillo).
Tensor D-Rinse está formulado para eliminar la corrosión/oxidación de los metales que puede producirse durante el transporte de las obleas a la 2ª y 3ª fases, así como durante el transporte retardado a la estación de limpieza.
Cómo llegar
Se recomienda añadir Tensor D-Rinse a la línea de aclarado con agua a alta presión entre un 10% y un 25%. Los tipos de residuos post-CMP, la duración de la pulverización, la presión de pulverización, la química de la lechada y otros factores del proceso determinan en última instancia las diluciones específicas y los métodos de uso.
Ventajas:
Humectación superior con baja espuma
Sin aclarado - no deja películas ni residuos
Limpia los residuos dejados por cualquier lodo CMP disponible en el mercado
Totalmente compatible con esquemas metálicos avanzados y dieléctricos asociados
Totalmente compatible con todas las herramientas CMP estándar del sector y los sistemas de enjuague de almohadillas/desbarbado de obleas.
Fácil de aplicar
Uso seguro y económico